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    徐军

    • 副教授     博士生导师 硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
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    论文成果

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    等离子体技术沉积SiCN薄膜中O杂质的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响

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      发布时间：2024-10-17

      发表时间：2022-10-06

      发表刊物：真空科学与技术

      所属单位：物理学院

      卷号：29

      期号：1

      页面范围：26-30

      备注：新增回溯数据


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