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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：zhoudayu@dlut.edu.cn
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Impact of H-Related Chemical Bonds on Physical Properties of SiNx:H Films Deposited via Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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发表时间：2024-08-28
卷号：13
期号：14
关键字：FABRICATION; GROWTH; MECHANICAL-PROPERTIES; PECVD; SILICON-NITRIDE FILMS; STRESS; THIN-FILMS