大连理工大学主页平台管理系统周大雨 Effects of substrate bias voltage on conductivity and internal stress of TiN films 周大雨

周大雨

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学

学位：博士

所在单位：材料科学与工程学院

学科：材料物理与化学
微电子学与固体电子学

办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415

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Effects of substrate bias voltage on conductivity and internal stress of TiN films

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发布时间：2024-09-06

论文类型：期刊论文

论文编号：395227

发表时间：2024-11-01

发表刊物：MATERIALS RESEARCH BULLETIN

卷号：179

ISSN号：0025-5408

关键字：CHEMISTRY; DEPOSITION; GROWTH; MORPHOLOGY; PERFORMANCE; TEXTURE; THIN-FILMS; TITANIUM NITRIDE FILMS