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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：
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Tuning the structural and electrical properties of TiNx thin films with low temperature coefficient of resistance
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论文类型：期刊论文
论文编号：476843
发表时间：2025-10-15
发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE
卷号：706
ISSN号：0169-4332
关键字：DEPOSITION; ELECTRONIC-PROPERTIES; FLOW-RATE; INTERNAL-STRESS; NITROGEN PARTIAL-PRESSURE; RESISTIVITY; RESISTORS; TITANIUM; TRANSPORT-PROPERTIES