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周大雨
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：男

毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学

学位：博士

所在单位：材料科学与工程学院

学科：材料物理与化学
微电子学与固体电子学

办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415

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Tuning the structural and electrical properties of TiNx thin films with low temperature coefficient of resistance

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发布时间：2026-03-17

论文类型：期刊论文

论文编号：476843

发表时间：2025-10-15

发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE

卷号：706

ISSN号：0169-4332

关键字：DEPOSITION; ELECTRONIC-PROPERTIES; FLOW-RATE; INTERNAL-STRESS; NITROGEN PARTIAL-PRESSURE; RESISTIVITY; RESISTORS; TITANIUM; TRANSPORT-PROPERTIES

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