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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
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高Sc掺杂AlN薄膜铁电性能的研究
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论文类型：期刊论文
论文编号：413396
发表时间：2024-10-25
发表刊物：功能材料与器件学报
卷号：30
期号：05
页面范围：239-246
ISSN号：1007-4252
关键字：AlScN ferroelectric film; c-axis orientation; high Sc content
CN号：31-1708/TB