教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学
微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415
电子邮箱：
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发布时间：2026-06-26
论文类型：期刊论文
论文编号：600886
发表时间：2025-11-12
发表刊物：无机材料学报
卷号：41
期号：04
页面范围：486-492
ISSN号：1000-324X
关键字：AlScN film; ferroelectric property; micro structure; working pressure
CN号：31-1363/TQ
