|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：威尔大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程
办公地点：机械工程学院2号楼214-2
联系方式：办公电话：0411-84709754
电子邮箱：zouhl@dlut.edu.cn
扫描关注
纳米硅薄膜低温光致发光
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：1998-01-01
发表刊物：固体电子学研究与进展
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：18
期号：1
页面范围：38
ISSN号：1000-3819
关键字：纳米硅薄膜; 光致发光; 化学气相淀积; 等离子体
摘要：以高氢稀释硅烷为反应气源，用PECVD方法淀积了nc－Si：H薄膜。未经任何后处理过程，在低温77K下观察到光致发光，并对薄膜样品进行了Raman散射，红外吸收谱，氢氧含量以及光学吸收系数分析测试。还对nc－Si：H薄膜低温光致发光的机理进行了讨论。