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论文类型：期刊论文

发表时间：2017-08-30

发表刊物：机电技术

期号：4

页面范围：80-85

ISSN号：1672-4801

关键字：SU-8光刻胶;喷墨打印头喷孔板;锥形孔;接近式曝光

摘要：描述了一种压电喷墨打印头SU-8光刻胶锥形喷孔的制作方法.该方法基于接近式曝光工艺和键合工艺,首先在PDMS基底上旋涂SU-8光刻胶,通过控制曝光量、曝光间隙、后烘、显影等工艺参数,得到带有微小锥形喷孔的SU-8光刻胶喷孔板,再将喷孔板与SU-8光刻胶开放腔室层键合,形成压电喷墨打印头腔室.采用耦合压电物理场和层流流场的方法,数值模拟了喷孔形状对喷墨速度的影响,确定了最佳喷孔形状.通过实验,确定了制作SU-8锥形喷孔的工艺参数为:曝光量110 mJ/cm2,曝光间隙110μm,后烘60℃、15 min和显影时间3.5 min;并采用30μm孔径的掩模,制作出了大孔孔径30μm、小孔孔径20μm、孔高45μm的SU-8光刻胶微小锥形喷孔.