邹赫麟
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个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:威尔大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:微机电工程

办公地点:机械工程学院2号楼214-2

联系方式:办公电话:0411-84709754

电子邮箱:zouhl@dlut.edu.cn

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论文成果

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A new dry etching method with the high etching rate for patterning crosslinked SU-8 thick films

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论文类型:期刊论文

发表时间:2016-01-01

发表刊物:Journal of Electrical Engineering

卷号:3

期号:2

页面范围:1-6