邹赫麟
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:威尔大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:微机电工程
办公地点:机械工程学院2号楼214-2
联系方式:办公电话:0411-84709754
电子邮箱:zouhl@dlut.edu.cn
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A new dry etching method with the high etching rate for patterning crosslinked SU-8 thick films
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论文类型:期刊论文
发表时间:2016-01-01
发表刊物:Journal of Electrical Engineering
卷号:3
期号:2
页面范围:1-6