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Dongming Guo
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Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Paper Publications
[571]李秀娟, 金洙吉, 苏建修, 康仁科, 郭东明.铜化学机械抛光中的平坦性问题研究[J],半导体技术,2004,29(7):30-34
[572]孙禹辉, 康仁科, 郭东明, 金洙吉.CMP加工中的真空吸盘区域压力控制技术[J],电子工业专用设备,2004,33(7):34-39
[573]郭东明, 康仁科.半导体制造中超精密加工技术的未来发展[A],2004,1
[574]罗余庆, 康仁科, 郭东明, 金洙吉.大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用[J],半导体技术,2004,29(6):24-29,37
[575]田业冰, 郭东明, 康仁科, 金洙吉.大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[A],2004,390-394
[576]苏建修, 郭东明, 康仁科, 金洙吉, 李秀娟.硅片化学机械抛光时硅片运动形式对片内非均匀性的影响分析[A],2004,280-285
[577]王辉, 赵福令, 吕战竹, 张龙, 郭东明.混粉电火花加工中粉末对极间电容和放电间隙的影响[J],航空制造技术,2004,6:100-102
[578]董志刚, 金洙吉, 郭东明, 康仁科, 田业冰.硅片超精密磨床的发展现状[J],电子工业专用设备,2004,33(6):54-59,66
[579]季田, 郭东明, 康仁科.天线罩CNC修磨机床磨削轨迹计算[J],中国机械工程,2004,15(10):859-861,901
[580]孙禹辉, 康仁科, 郭东明, 金洙吉, 苏建修.化学机械抛光中的硅片夹持技术[J],半导体技术,2004,29(4):10-14
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