|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：daizhl@dlut.edu.cn
扫描关注
Simulation of ion behavior in a photoresist trench during metal etching driven by a radio-frequency source
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2010-01-01
页面范围：648-648