Study on Nonlinear Plasma Dynamics in Electron Heating of Asymmetric Capacitive Discharges with a Fluid Sheath Model
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：CHIN.PHYS.LETT
卷号：28
期号：10
页面范围：75202-75202
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