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溅射靶功率对氮化碳薄膜结构的影响

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2022-07-02

Journal:真空科学与技术学报

Issue:5

Page Number:350-354

ISSN No.:1672-7126

Pre One:沉积参数对碳氮化硅薄膜化学结构及光学性能的影响

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