Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2004-08-01

Page Number: 308-309

Key Words: 热敏电阻;Ni薄膜;电子探针微分析(EPMA);薄膜式温度传感器

Abstract: 采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10<'-3>/C.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.