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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2004-08-01
Page Number:308-309
Key Words:热敏电阻;Ni薄膜;电子探针微分析(EPMA);薄膜式温度传感器
Abstract:采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10<'-3>/C.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.
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