Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2004-12-30

Journal: 仪器仪表学报

Included Journals: ISTIC、PKU

Volume: 25

Issue: z1

Page Number: 308-309

ISSN: 0254-3087

Key Words: 热敏电阻 Ni薄膜 电子探针微分析(EPMA)

Abstract: 采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.