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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2004-12-30
Journal:仪器仪表学报
Included Journals:PKU、ISTIC
Volume:25
Issue:z1
Page Number:308-309
ISSN No.:0254-3087
Key Words:热敏电阻 Ni薄膜 电子探针微分析(EPMA)
Abstract:采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.
