Release Time:2020-05-04  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2004-12-26

Journal: 传感技术学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 17

Issue: 4

Page Number: 615-618

ISSN: 1004-1699

Key Words: 微型加热器;TCR;Cr和Ni-Cr薄膜;PCR生物芯片;微流量传感器

Abstract: 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80%,Cr:20%)金属薄膜,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响.在一定直流电压条件下,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃,且升温速率皆大于0.50C/s.通过测量微加热器的电阻温度曲线,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求.