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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2004-12-26

Journal:传感技术学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:17

Issue:4

Page Number:615-618

ISSN No.:1004-1699

Key Words:微型加热器;TCR;Cr和Ni-Cr薄膜;PCR生物芯片;微流量传感器

Abstract:采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80%,Cr:20%)金属薄膜,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响.在一定直流电压条件下,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃,且升温速率皆大于0.50C/s.通过测量微加热器的电阻温度曲线,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求.