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Indexed by:Journal Papers

Date of Publication:2020-01-01

Journal:真空与低温

Volume:26

Issue:2

Page Number:131-138

ISSN No.:1006-7086

Key Words:微通道热沉;UV-LIGA;换热性能;热边界层中断

Abstract:为了解决雷达等高热流密度电子设备的散热问题,通过数值模拟方法,设计了一款高宽比为5,当量直径为166.67μm的金属微通道热沉.基于热边界层中断技术,设计出间断的微通道,提升了热沉的换热性能.利用SU-8胶紫外光刻和微电铸技术制作了微通道热沉底板,再将盖板与底板焊接在一起得到金属微通道热沉.搭建了换热性能测试系统,以去离子水为工质,对微通道热沉进行了实验研究.实验结果表明,当热沉底部热源的热流密度为74.5 W/cm2、工质流量为1.8 L/min时,其底部温度低于40℃,平均换热系数达到67.0 kW/(m2·K).