Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2006-12-20

Journal: 分析科学学报

Included Journals: CSCD、ISTIC

Volume: 22

Issue: 6

Page Number: 671-674

ISSN: 1006-6144

Key Words: 玻璃微流控芯片;湿法刻蚀;热键合

Abstract: 本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50 mm微流控芯片的方法.SG4009玻璃表面有厚度570 nm的光刻胶S-1085和厚度145 nm的Cr层组成的掩蔽层,省去制作掩蔽层的时间和设备,降低了生产成本,缩短了生产周期.对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究,提出相应的解决方案,保证了芯片的制作质量.