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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2006-10-15

Journal:微细加工技术

Included Journals:ISTIC、Scopus

Issue:5

Page Number:51-54

ISSN No.:1003-8213

Key Words:微电铸;UV-LIGA工艺;SU-8光刻胶;微注塑模具

Abstract:介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法--无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的.讨论了SU-8胶与基底的结合特性以及几种去除SU-8胶的有效方法,所制作的微注塑模具已用于微注塑加工中.无背板生长工艺的突出优点是微电铸时间短、模具质量高,而且还适合于制作其他微机械组件,是目前MEMS领域中比较有发展前途的加工方法.