Current position: Home >> Scientific Research >> Patents

超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法

Hits:

First Author:duliqun

Disigner of the Invention:张晓蕾,王翱岸,zhaoming,赵珊珊

Application Number:CN201310205724.5

Authorization Date:2013-05-28

Authorization number:CN103436923A

Pre One:一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法

Next One:一种自由曲面灰度掩膜的设计方法