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碳氟性等离子体的放电机理和刻蚀过程的研究

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Leading Scientist:zhaoshuxia

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:青年科学基金项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11305023

Date of Project Approval:2013-09-25

Scheduled completion time:2016-12-31

Date of Project Initiation:2014-01-01

Date of Project Completion:2016-12-31

Pre One:射频感性耦合碳氟性等离子体的放电机理和基片偏压效应的研究

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