氧化镓单晶的磨削材料去除机理和损伤演化研究
Release Time:2024-05-21 Hits:
Date of Publication: 2024-05-21
Journal: 湖南大学学报(自然科学版)
Volume: 51
Issue: 04
Page Number: 10-19
ISSN: 1674-2974
Key Words: 亚表面损伤; 半导体材料; 氧化镓单晶; 磨削; 纳米划痕
CN: 43-1061/N
Release Time:2024-05-21 Hits:
Date of Publication: 2024-05-21
Journal: 湖南大学学报(自然科学版)
Volume: 51
Issue: 04
Page Number: 10-19
ISSN: 1674-2974
Key Words: 亚表面损伤; 半导体材料; 氧化镓单晶; 磨削; 纳米划痕
CN: 43-1061/N