张钰如

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:大连理工大学 三束4号楼309

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科研项目

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感应耦合等离子源仿真模拟合作研究

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负责人姓名:张钰如

项目参与人员:王友年

项目来源:企事业单位委托科技项目

项目状态:结题

项目来源单位:北京北方华创微电子装备有限公司

项目性质:横向

立项时间:2017-04-27

计划完成时间:2017-06-20

开始日期:2017-04-27