教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 女
毕业院校： 大连理工大学
学位： 博士
所在单位： 物理学院
学科： 等离子体物理
办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519
电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn
手机版
开通时间： ..
最后更新时间： ..
面向半导体芯片制造业中的工业等离子源的仿真模拟研究
流体模型、流体/蒙卡混合模型、鞘层模型、整体模型、COMSOl软件等
感性耦合等离子体特性的模拟研究
容性耦合等离子体特性的模拟研究
射频负氢离子源特性的模拟研究
感性/容性混合放电的模拟研究
脉冲调制射频放电特性的模拟研究
等离子体多场耦合快速仿真算法
