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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究
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负责人姓名：宋远红
项目参与人员：张莹莹,张钰如,王友年
项目来源：企事业单位委托科技项目
项目状态：结题
项目来源单位：苏州迈为科技股份有限公司
项目性质：横向
立项时间：2021-03-17
计划完成时间：2022-03-21
开始日期：2021-03-22
结项日期：2023-07-14