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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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面向高深宽比刻蚀工艺的超低频容性耦合等离子体源的特性研究
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负责人姓名：张钰如
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：在研
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：12275041
立项时间：2022-09-08
计划完成时间：2026-12-31
开始日期：2023-01-01