
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:女
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱:
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项目名称:面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体数值模拟研发项目
负责人姓名:宋远红
项目参与人员:张莹莹,张钰如,王友年
项目来源:企事业单位委托科技项目
项目状态:在研
项目来源单位:苏州迈为科技股份有限公司
项目性质:横向
立项时间:2022-11-01
计划完成时间:2025-10-31
开始日期:2022-11-01
发布时间:2022-12-19
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