大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Changes of the electron dynamics in hydrogen inductively coupled plasma 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Simulations of standing wave effect, stop band effect, and skin effect in large-area very high frequency symmetric capacitive discharges

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发布时间：2023-05-05

发表时间：2022-10-08

发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：23

期号：3

ISSN号：1009-0630

关键字："electromagnetic effects; hybrid model; plasma uniformity"