张钰如

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:大连理工大学 三束4号楼309

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论文成果

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Simulations of standing wave effect, stop band effect, and skin effect in large-area very high frequency symmetric capacitive discharges

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发表时间:2022-10-08

发表刊物:PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号:23

期号:3

ISSN号:1009-0630

关键字:"electromagnetic effects; hybrid model; plasma uniformity"