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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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Benchmarking and validation of a hybrid model for electropositive and electronegative capacitively coupled plasmas
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论文类型：期刊论文
论文编号：364169
发表时间：2023-05-01
发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
卷号：32
期号：5
ISSN号：0963-0252
关键字：ARGON; ENERGY; FLUID MODEL; FREQUENCY; LARGE-AREA; RF DISCHARGE; SIMULATIONS