大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Benchmarking and validation of a hybrid model for electropositive and electronegative capacitively coupled plasmas 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Benchmarking and validation of a hybrid model for electropositive and electronegative capacitively coupled plasmas

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发布时间：2024-06-24

论文类型：期刊论文

论文编号：364169

发表时间：2023-05-01

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：32

期号：5

ISSN号：0963-0252

关键字：ARGON; ENERGY; FLUID MODEL; FREQUENCY; LARGE-AREA; RF DISCHARGE; SIMULATIONS