大连理工大学主页平台管理系统张钰如 A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas 中文主页

张钰如

点赞：

教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

电子邮箱：

移动版主页

访问量：

开通时间： ..

最后更新时间：..

同专业博导同专业硕导个人学术主页

当前位置：中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas

点击次数：

发布时间：2024-10-10

论文类型：期刊论文

论文编号：363465

发表时间：2023-07-01

发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：25

期号：7

ISSN号：1009-0630

关键字：ARGON; GLOBAL-MODEL; SHEATH

CN号：34-1187/TL