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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas
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论文类型：期刊论文
论文编号：363465
发表时间：2023-07-01
发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY
卷号：25
期号：7
ISSN号：1009-0630
关键字：ARGON; GLOBAL-MODEL; SHEATH
CN号：34-1187/TL