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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 女

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱: yrzhang@dlut.edu.cn

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CCP射频放电流体模型面向加工工艺的仿真应用

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发表时间: 2022-10-05

发表刊物: 第十五届全国等离子体科学技术会议

页面范围: 161-161

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