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论文类型：期刊论文

发表时间：2016-12-22

发表刊物：电子器件

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：39

期号：6

页面范围：1287-1291

ISSN号：1005-9490

关键字：微细尺度;自然对流换热;比较法;微热板

摘要：微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题.利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真.结果表明:面积为43.5μm×43.5μm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10-5 W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×104 W/(m2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数.