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论文类型：会议论文

发表时间：2011-05-17

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关键字：AZO;InN;低温沉积;缓冲层;择优取向;玻璃衬底;原子力显微镜;电子回旋共振;晶格失配;结晶性;

摘要：利用电子回旋共振-等离子增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)方法,在AZO薄膜(ZnO:Al)作缓冲层的玻璃衬底上采用两步法低温沉积了呈高度C轴择优取向的InN薄膜。利用反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜