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专利名称：一种β－碳化硅薄膜的制备方法

发明设计人：边继明,张志坤,秦福文,刘维峰,骆英民

申请日期：2013-07-13

申请号：ZL2013 1 0293452.9

授权日期：2016-01-20

是否职务专利：否

发布时间：2016-09-21