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专利名称：AlN/GaN/自持金刚石结构SAW器件及制备方法

第一作者：秦福文

发明设计人：边继明,吴爱民,张东,白亦真

申请号：CN201110062224.1

授权日期：2011-03-16

授权号：CN102185583A

发布时间：2019-09-16