Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-05-15

Journal: 计算机学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 31

Issue: 5

Page Number: 868-874

ISSN: 0254-4164

Key Words: 玻璃芯片;湿法刻蚀;元胞自动机;OpenGL三维成像;计算机模拟

Abstract: 以二维动态元胞自动机理论为基础,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellularautomata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索,提高了算法效率,并通过改进元胞信息的存储方式,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用OpenGL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明:建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟.