Hits:

Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-08-15

Journal:压电与声光

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:30

Issue:4

Page Number:492-494

ISSN No.:1004-2474

Key Words:PZT压电薄膜;无阀微泵;PDMS泵膜;收缩管/扩张管

Abstract:介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变.在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响.在7.5 V、180 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05 μL/min.该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求.