Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-08-25

Journal: 功能材料与器件学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 14

Issue: 4

Page Number: 793-798

ISSN: 1007-4252

Key Words: 微泵;PZT压电薄膜;MFX-ANSYS/CFX;流固耦合

Abstract: 介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.