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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2008-10-15
Journal:压电与声光
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
Volume:30
Issue:5
Page Number:621-623
ISSN No.:1004-2474
Key Words:UV-LIGA;SU-8胶;微电铸;热溶胀性
Abstract:对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用ANSYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析.通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结果与实验值基本吻合.仿真结果可用来优化掩模图形的设计及预测电铸后微模具的尺寸.
