Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-10-15

Journal: 压电与声光

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 30

Issue: 5

Page Number: 621-623

ISSN: 1004-2474

Key Words: UV-LIGA;SU-8胶;微电铸;热溶胀性

Abstract: 对SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究,在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上,利用ANSYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析.通过SU-8胶模的溶胀实验,建立了热溶胀变形的速率模型,并计算了不同电铸时间下微模具的顶部线宽,计算结果与实验值基本吻合.仿真结果可用来优化掩模图形的设计及预测电铸后微模具的尺寸.