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低损伤超精密磨削硬脆晶体的摩擦化学反应机理研究

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Leading Scientist:Shang GAO

Project Participants:zhangbi,zhuxianglong

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:青年科学基金项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:51505063

Date of Project Approval:2015-08-18

Scheduled completion time:2018-12-31

Date of Project Initiation:2016-01-01

Pre One:超薄硬脆晶体基片的耦合能量软磨机理与关键技术研究

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