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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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Numerical investigation of low pressure inductively coupled plasma sources: A review
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发表时间：2022-10-07
发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA
所属单位：物理学院
卷号：70
期号：9
ISSN号：1000-3290
关键字："inductively coupled plasma; global model; fluid model; hybrid model; biased sheath model; particle-in-cell model"