大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Numerical investigation of low pressure inductively coupled plasma sources: A review 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Numerical investigation of low pressure inductively coupled plasma sources: A review

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发布时间：2023-05-05

发表时间：2022-10-07

发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA

所属单位：物理学院

卷号：70

期号：9

ISSN号：1000-3290

关键字："inductively coupled plasma; global model; fluid model; hybrid model; biased sheath model; particle-in-cell model"