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张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Nonlocal electron kinetics and spatial transport in radio-frequency two-chamber inductively coupled plasmas with argon discharges

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发布时间：2023-05-05

发表时间：2022-10-07

发表刊物：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷号：121

期号：23

ISSN号：0021-8979

上一条：Role of gas composition in weakened nonlinear standing wave excitation and improved plasma radial uniformity in very-high-frequency asymmetric capacitive Ar/CF4 discharges

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