大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Role of gas composition in weakened nonlinear standing wave excitation and improved plasma radial uniformity in very-high-frequency asymmetric capacitive Ar/CF4 discharges 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Role of gas composition in weakened nonlinear standing wave excitation and improved plasma radial uniformity in very-high-frequency asymmetric capacitive Ar/CF4 discharges

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发布时间：2024-06-24

发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

卷号：57

期号：30

ISSN号：0022-3727

关键字：ELECTRODE; LARGE-AREA; NONUNIFORMITIES

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