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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 女

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱: yrzhang@dlut.edu.cn

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Effects of low-frequency voltage on nonlinear standing wave excitation, plasma uniformity, and ion dynamics in dual-frequency asymmetric capacitive discharges

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发表刊物: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号: 33

期号: 4

ISSN号: 0963-0252

关键字: ANALYTIC MODEL; ARGON; DENSITY; ELECTRODES; ENERGY; LARGE-AREA; NONUNIFORMITIES; REACTORS

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