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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学 三束4号楼309

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Effects of low-frequency voltage on nonlinear standing wave excitation, plasma uniformity, and ion dynamics in dual-frequency asymmetric capacitive discharges

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发布时间：2024-06-24

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：33

期号：4

ISSN号：0963-0252

关键字：ANALYTIC MODEL; ARGON; DENSITY; ELECTRODES; ENERGY; LARGE-AREA; NONUNIFORMITIES; REACTORS

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