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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 女

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Hybrid simulation of radio frequency biased inductively coupled Ar/O2/Cl2 plasmas

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发表刊物： ACTA PHYSICA SINICA

卷号： 73

期号： 4

ISSN号： 1000-3290

关键字： CHLORINE PLASMAS; DIAGNOSTICS; DYNAMICS; ELECTRON; ENERGY-DISTRIBUTION; ETCHING CHARACTERISTICS; MODEL; PROFILE EVOLUTION; SHEATH; SILICON

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