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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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带有射频偏压源的感性耦合Ar/O2/Cl2等离子体放电的混合模拟研究
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论文类型：期刊论文
论文编号：390630
发表时间：2024-02-29
发表刊物：物理学报
卷号：73
期号：4
页面范围：209-223
ISSN号：1000-3290
关键字：偏压源; 感性耦合等离子体; 混合模型; 离子能量; 离子通量
CN号：11-1958/O4