大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Hybrid simulation of radio frequency biased inductively coupled Ar/O2/Cl2 plasmas 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Hybrid simulation of radio frequency biased inductively coupled Ar/O2/Cl2 plasmas

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发布时间：2024-06-24

发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA

卷号：73

期号：4

ISSN号：1000-3290

关键字：CHLORINE PLASMAS; DIAGNOSTICS; DYNAMICS; ELECTRON; ENERGY-DISTRIBUTION; ETCHING CHARACTERISTICS; MODEL; PROFILE EVOLUTION; SHEATH; SILICON