大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas

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发布时间：2024-06-24

发表时间：2024-03-30

发表刊物：PHYSICS OF PLASMAS

卷号：30

期号：6

ISSN号：1070-664X

关键字：AZIMUTHAL SYMMETRY; FREQUENCY; ION FLUX UNIFORMITY; MODEL