|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
移动版主页
Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas
点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：372101
发表时间：2023-06-01
发表刊物：PHYSICS OF PLASMAS
卷号：30
期号：6
ISSN号：1070-664X
关键字：AZIMUTHAL SYMMETRY; FREQUENCY; ION FLUX UNIFORMITY; MODEL