大连理工大学主页平台管理系统张钰如--中文主页-- Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Modulation of the plasma radial uniformity in pulsed dual-antenna inductively coupled plasmas

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发表时间： 2024-03-30

发表刊物： PHYSICS OF PLASMAS

卷号： 30

期号： 6

ISSN号： 1070-664X

关键字： AZIMUTHAL SYMMETRY; FREQUENCY; ION FLUX UNIFORMITY; MODEL

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