张钰如

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:大连理工大学 三束4号楼309

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论文成果

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Fast simulation of the E-H mode transition in Ar/O-2 inductively coupled plasmas

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论文类型:期刊论文

论文编号:371541

发表时间:2023-07-21

发表刊物:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷号:134

期号:3

ISSN号:0021-8979

关键字:AR; ARGON; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; HYSTERESIS; O-2; OXYGEN DISCHARGES