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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:女
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱:
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Fast simulation of the E-H mode transition in Ar/O-2 inductively coupled plasmas
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论文类型:期刊论文
论文编号:371541
发表时间:2023-07-21
发表刊物:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
卷号:134
期号:3
ISSN号:0021-8979
关键字:AR; ARGON; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; HYSTERESIS; O-2; OXYGEN DISCHARGES
