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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学 三束4号楼309

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Fast simulation of the E-H mode transition in Ar/O-2 inductively coupled plasmas

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发布时间：2024-06-24

论文类型：期刊论文

论文编号：371541

发表时间：2023-07-21

发表刊物：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷号：134

期号：3

ISSN号：0021-8979

关键字：AR; ARGON; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; HYSTERESIS; O-2; OXYGEN DISCHARGES

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