大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Investigation of the dual-frequency bias effect on inductively coupled Cl-2 plasmas by hybrid simulation 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Investigation of the dual-frequency bias effect on inductively coupled Cl-2 plasmas by hybrid simulation

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发布时间：2024-06-24

论文类型：期刊论文

论文编号：364594

发表时间：2023-09-07

发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

卷号：56

期号：36

ISSN号：0022-3727

关键字：DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; MODEL; REACTORS; SHEATH; SILICON