大连理工大学主页平台管理系统张钰如--中文主页-- Investigation of the dual-frequency bias effect on inductively coupled Cl2 plasmas by hybrid simulation

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Investigation of the dual-frequency bias effect on inductively coupled Cl2 plasmas by hybrid simulation

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发表刊物： Journal of Physics D: Applied Physics

卷号： 56

期号： 36

ISSN号： 0022-3727

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