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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 女

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱: yrzhang@dlut.edu.cn

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带有射频偏压源的感性耦合Ar/O2/Cl2等离子体放电的混合模拟研究

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发表时间: 2024-03-30

发表刊物: 物理学报

关键字: 偏压源; 感性耦合等离子体; 混合模型; 离子能量; 离子通量

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