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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 女

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

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Investigation of spatial distribution of EEPFs and neutral species in nitrogen inductively coupled plasmas by 2D hybrid simulation

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发表时间： 2024-03-29

发表刊物： PHYSICS OF PLASMAS

卷号： 30

期号： 9

ISSN号： 1070-664X

关键字： ARGON; COLLISIONS; DENSITY; DISCHARGES; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; FLUID MODEL; GROWTH; N-2; PARTICLE-IN-CELL; UNIFORMITY

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