大连理工大学主页平台管理系统张钰如 Investigation of spatial distribution of EEPFs and neutral species in nitrogen inductively coupled plasmas by 2D hybrid simulation 中文主页

张钰如

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教授博士生导师硕士生导师

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束4号楼309

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Investigation of spatial distribution of EEPFs and neutral species in nitrogen inductively coupled plasmas by 2D hybrid simulation

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发布时间：2024-10-10

发表时间：2024-03-29

发表刊物：PHYSICS OF PLASMAS

卷号：30

期号：9

ISSN号：1070-664X

关键字：ARGON; COLLISIONS; DENSITY; DISCHARGES; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; FLUID MODEL; GROWTH; N-2; PARTICLE-IN-CELL; UNIFORMITY