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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学 三束4号楼309
电子邮箱：
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Investigation of spatial distribution of EEPFs and neutral species in nitrogen inductively coupled plasmas by 2D hybrid simulation
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论文类型：期刊论文
论文编号：384131
发表时间：2023-09-01
发表刊物：PHYSICS OF PLASMAS
卷号：30
期号：9
ISSN号：1070-664X
关键字：ARGON; COLLISIONS; DENSITY; DISCHARGES; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; FLUID MODEL; GROWTH; N-2; PARTICLE-IN-CELL; UNIFORMITY